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    [分享]GLAD中光刻成像系統(tǒng)的建模 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2019-03-15
    關(guān)鍵詞: GLAD成像建模
    概述 /\1MG>#K  
    Hb{G RG70  
    系統(tǒng)由一個聚光鏡、一個傾斜球體和一個Schwartzchild設(shè)計的中繼鏡組成。光源成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會聚,在中繼透鏡的光瞳處形成點像。在中繼透鏡的瞳孔處,多條條紋圖案將形成一個中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示: T*sB Wn'am  
    "~zQN(sR"P  
    nd1%txIsr  
     掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣 $j!VJGVG  
     窄條產(chǎn)生寬的旁瓣,僅部分通過中繼入口瞳孔 H- aSLc  
     寬條產(chǎn)生較窄的旁瓣,更容易通過中繼入口瞳孔 X$4 5<oz  
     部分通過旁瓣會產(chǎn)生部分解析 A#B6]j)  
    x_TtS|   
    系統(tǒng)描述