[分享]GLAD中光刻成像系統(tǒng)的建模 [復(fù)制鏈接]

概述 mj'~-$5T  
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該系統(tǒng)由一個(gè)聚光鏡、一個(gè)傾斜球體和一個(gè)Schwartzchild設(shè)計(jì)的中繼鏡組成。光源被成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會(huì)聚，在中繼透鏡的光瞳處形成點(diǎn)像。在中繼透鏡的瞳孔處，多條條紋圖案將形成一個(gè)中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示： r[V%DU$dj  
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 掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣 ^rJTlh 9  
 窄條產(chǎn)生寬的旁瓣，僅部分通過中繼入口瞳孔 n'mrLZw  
 寬條產(chǎn)生較窄的旁瓣，更容易通過中繼入口瞳孔 KhWy  
 部分通過旁瓣會(huì)產(chǎn)生部分解析 IaeO0\ 4E  
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