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    [討論]如何在ZEMAX中導(dǎo)入zernike面形誤差 [復(fù)制鏈接]

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    離線haohan930311
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-11-01
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    關(guān)鍵詞: ZEMAX光學(xué)干涉儀
    問題描述:如何在Zemax軟件中正確輸入ZYGO干涉儀的檢測到的面形參數(shù)。 .3UJ*^(?  
     wT19m  
    通過某些檢測手段或者檢測技術(shù),可以得到以ZYGO干涉儀中的36項(xiàng)zernike fringe系數(shù)進(jìn)行表征(Z1-Z36),如下圖所示。 !_3b#Caf  
    49>b]f,Vc  
    Z5oDj|&l}  
    d0}(d Gl  
    那么對于下面這個反射式光學(xué)系統(tǒng),中的某面,如何把這個面形誤差添加進(jìn)去呢? &-o5lrq  
    j&/+/s9N  
    fBZLWfp9  
    :zo5`[P  
    求大神解答?或者有用其他的方式做面形誤差分析的么? Nz3+yxv1