問題描述:如何在
Zemax軟件中正確輸入ZYGO干涉儀的檢測到的面形
參數(shù)。
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wT19m 通過某些檢測手段或者檢測技術(shù),可以得到以ZYGO干涉儀中的36項(xiàng)zernike fringe系數(shù)進(jìn)行表征(Z1-Z36),如下圖所示。
!_3b#Caf 49>b]f,Vc Z5oDj|&l} d0}(d Gl 那么對于下面這個反射式
光學(xué)系統(tǒng),中的某面,如何把這個面形誤差添加進(jìn)去呢?
&-o5lrq j&/+/s9N fBZLWfp9 :zo5`[P 求大神解答?或者有用其他的方式做面形誤差分析的么?
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