本課程將介紹前面討論的一些功能，并添加一些功能強(qiáng)大的新選項(xiàng)。 在這里，我們將使用BTOL來(lái)計(jì)算八片式透鏡的公差，然后查看通過(guò)校驗(yàn)單元格中的元件來(lái)補(bǔ)償楔形誤差的情況下的像質(zhì)統(tǒng)計(jì)。 最后，我們將在重新對(duì)焦鏡頭和校驗(yàn)元件之后，檢查一組100個(gè)鏡頭的橫向色差的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，這些鏡頭受公差限制。
這是一個(gè)MACro，它將創(chuàng)建公差預(yù)算：
FETCH X33 ! Get out the starting lens.
BTOL 90 ! Ask for 90% confidence level.
TPR ALL ! All surfaces are matched to testplates.
EXACT ALL INDEX ! Assume melt data are received,
EXACT ALL VNO ! so the index and dispersion tolerances are zero.
TOL WAF .18 .32 .18 ! Ask for this wavefront variance at three field points.
FOCUS REAL ! Focus the on-axis image point
ADJUST 14 TH 100 ! with thickness 14 (the last airspace).
PREP MC ! Prepare the input for Monte-Carlo evaluation.
GO ! Start BTOL.
在SYNOPSYS™中打開(kāi)名為X33.RLE的文件，我們使用FETCH命令將其取出。
運(yùn)行此MACro時(shí)，BTOL公差已準(zhǔn)備好并列在探測(cè)器上。 現(xiàn)在我們需要使用MC。 調(diào)整MACro由BTOL準(zhǔn)備，命名為MCFILE.MAC。 讓我們看看它包含什么。 我們輸入LM MCFILE來(lái)加載MACro：
PANT
VY 14 TH
END
AANT
M 0.000000E+00 0.3333 A 2 XC 0.000 0 .1 0.000
M 0.297953E-05 0.3333 SR A 2 YC 0.000 0 .1 0.000
M 0.000000E+00 0.3333 A 2 XC 0.000 0 -.1 0.000
M -0.297953E-05 0.3333 SR A 2 YC 0.000 0 -.1 0.000
M 0.297953E-05 0.3333 A 2 XC 0.000 .1 0 0.000
M 0.000000E+00 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .1 0 0.000
M -0.297953E-05 0.3333 A 2 XC 0.000 -.1 0 0.000
M 0.000000E+00 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.1 0 0.000
M -0.177180E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 -.64 .64 0.000
M 0.177180E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.64 .64 0.000
M 0.177180E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 .64 .64 0.000
M 0.177180E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .64 .64 0.000
M 0.177180E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 .64 -.64 0.000
M -0.177180E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .64 -.64 0.000
M -0.177180E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 -.64 -.64 0.000
M -0.177180E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.64 -.64 0.000
M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 0. 0.000
M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 0 0. 0.000
M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 .1 0.000
M 0.149918E-03 0.6667 A 3 YC 0.000 0 .1 0.000
M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 -.1 0.000
M -0.149918E-03 0.6667 A 3 YC 0.000 0 -.1 0.000
M 0.149918E-03 0.6667 A 3 XC 0.000 .1 0. 0.000
M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 .1 0. 0.000
M -0.149918E-03 0.6667 A 3 XC 0.000 -.1 0 0.000
M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 -.1 0 0.000
END
SYNOPSYS 10
MC
根據(jù)要求，PANT文件中的最后一個(gè)空氣間隔是變化的，并且AANT文件定義了一個(gè)評(píng)價(jià)函數(shù)，如果調(diào)整能夠恢復(fù)名義設(shè)計(jì)完全相同的光線模式，它將精確地收斂到零。 現(xiàn)在我們需要準(zhǔn)備我們的MC MACro。 （這是我們指定所需蒙特卡羅分析的文件，而上面顯示的文件MCFILE.MAC指定了我們想要在每個(gè)案例上運(yùn)行的調(diào)整。它們是單獨(dú)的文件。）
首先，我們將使用隨機(jī)楔形方向運(yùn)行MC。 這是MACro：
MC ITEMIZE
SAMPLES 1 ! One case, please.
LIBRARY 5 ! We saved the initial lens in library location 5.
WORST ALL 1 ! Later we may want to see a worst case.
THSTAT UNIFORM ! Uniform thickness statistics.
WEDGES RANDOM ! Wedges have random orientation.
TEST ! Let’s just look at a perturbed example.
GO ! Run MC.
在這里，我們不優(yōu)化任何東西，只是準(zhǔn)備一個(gè)單一的擾動(dòng)示例，以便我們可以檢查它。 （元件現(xiàn)在都有楔形誤差，因此PAD顯示不能像以前那樣為元件著色。）
好吧，讓我們運(yùn)行一組100個(gè)鏡頭并查看統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。 首先我們GET 5，然后注釋掉TEST指令并更改樣本編號(hào)。
MC ITEMIZE
SAMPLES 100 ! Ask for a set of 100 lenses.
LIBRARY 5
QUIET
WORST ALL 1
THSTAT UNIFORM
WEDGES RANDOM
!TEST GO
當(dāng)MC完成時(shí)，我們將獲得MC PLOT的統(tǒng)計(jì)圖。
我們繼續(xù)操作，更改我們的MACro如下：
MC ITEMIZE
SAMPLES 100
LIBRARY 5
QUIET
WORST ALL 1
THSTAT UNIFORM
WEDGES CLOCK ! Clock the wedge errors for each case.
TEST ! Again make a single TEST case.
GO
現(xiàn)在，程序?qū)⑹褂肎ROUP而不是RELATIVE傾斜，使用不同的協(xié)議對(duì)元件傾斜進(jìn)行建模。 這釋放了每個(gè)元件上的gamma傾斜，用于引起楔形誤差。 我們要測(cè)試一個(gè)例子，以便我們可以檢查錯(cuò)誤是如何定義的。 執(zhí)行此操作后，我們會(huì)查看擾動(dòng)鏡頭的ASY列表：
TILT AND DECENTER DATA
LEFT-HANDED COORDINATES
_______________________________________________________________________________
SURF TYPE X Y Z ALPHA BETA GAMMA
_______________________________________________________________________________ TILT OR DECENTER GROUP SIZE: 3
1 GROUP 0.00358 -0.00501 0.00000 0.0142 0.0000 0.0000
2 REL 0.00000 0.00000 0.00000 -0.0088 0.0000 0.0000
3 REL 0.00000 0.00000 0.00000 0.0112 0.0000 0.0000 TILT OR DECENTER GROUP SIZE: 2
5 GROUP -0.00977 -0.00652 0.00000 0.0749 0.0000 0.0000
6 REL 0.00000 0.00000 0.00000 0.0000 0.0235 0.0000
TILT OR DECENTER GROUP SIZE: 2
7 GROUP -0.01686 0.02519 0.00000 0.0701 0.0000 0.0000
8 REL 0.00000 0.00000 0.00000 0.0000 -0.0103 0.0000 TILT OR DECENTER GROUP SIZE: 3
9 GROUP -0.01049 -0.02937 0.00000 0.0000 0.0462 0.0000
10 REL 0.00000 0.00000 0.00000 0.0000 0.0183 0.0000
11 REL 0.00000 0.00000 0.00000 -0.0140 0.0000 0.0000 TILT OR DECENTER GROUP SIZE: 3
12 GROUP 0.00107 -0.02203 0.00000 0.0000 0.0215 0.0000
13 REL 0.00000 0.00000 0.00000 -0.0291 0.0000 0.0000
14 REL 0.00000 0.00000 0.00000 0.0198 0.0000 0.0000 15 REL 0.00000 0.00000 0.00000 0.0000 0.0060 0.0000
從該列表中我們看到表面1,5,7,9和12已經(jīng)被分配了組傾斜。 除了表面1上的gamma傾斜之外，我們將改變所有這些，這提供了參考方向。
好的，我們需要修改我們的文件MCFILE.MAC，添加gamma傾斜變量。 我們也選擇在進(jìn)行更復(fù)雜的優(yōu)化時(shí)進(jìn)行。 然后我們保存新的MACro，以便MC能夠打開(kāi)它并查看更改。 它看起來(lái)像這樣：
PANT
VY 14 TH
VY 5 GPG ! Vary group gamma tilt on surfaces 5, 7, 9, and 12 (but not surface 1). VY 7 GPG
VY 9 GPG
VY 12 GPG
END
AANT
M 0 1 A P YA ! Control the boresight error this way.
M 0 1 A P XA
GSR .5 10 5 M 0 0 0 F ! Correct over the full pupil since the lens no longer has
GNR .5 2 3 M .7 0 0 F
GNR .5 1 3 M 1 0 0 F ! bilateral symmetry.
GNR .5 2 3 M -.7 0 0 F ! For the same reason we also control the negative field.
GNR .5 1 3 M -1 0 0 F
END
SYNOPSYS 10
MC
當(dāng)我們運(yùn)行它時(shí)，我們得到改進(jìn)的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)：
該課程幾乎已經(jīng)完成 - 但是假設(shè)這個(gè)鏡頭必須用于能很好地控制橫向色差的設(shè)備中。 我們想知道每種情況優(yōu)化后產(chǎn)生的像差的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。 我們?cè)谖募﨧CFILE.MAC中添加了一些AI輸入，現(xiàn)在讀取如下：
PANT
VY 14 TH VY 5 GPG VY 7 GPG VY 9 GPG VY 12 GPG
END
AANT
M 0 1 A P YA M 0 1 A P XA GSR .5 10 5 M 0 0 0 F GNR .5 2 3 M .7 0 0 F GNR .5 1 3 M 1 0 0 F
GNR .5 2 3 M -.7 0 0 F GNR .5 1 3 M -1 0 0 F
END
SYNOPSYS 10
Z1 = XA IN COLOR 1 ! Get the actual X coordinate of the chief ray in color 1.獲取主光線的實(shí)際X坐標(biāo)設(shè)置顏色為1。
RMS 1 0 555 ! Run the RMS command, which also finds the centroid.
Z2 = FILE 4 ! This is the X-centroid location, relative to the chief ray, 這是相對(duì)于主光線的X質(zhì)心位置，
Z3 = FILE 5 ! and this is the Y.這就是Y.
Z4 = YA IN COLOR 1 ! Also get the actual Y coordinate. 也獲得實(shí)際的Y坐標(biāo)。
Z5 = XA IN COLOR 3 ! Do the same thing in color 3.做同樣的事情標(biāo)記顏色為3。
RMS 3 0 555
Z6 = FILE 4
Z7 = FILE 5
Z8 = YA IN COLOR 3
= SQRT((Z1 + Z2 - Z5 - Z6)**2 + (Z3 + Z4 - Z7 - Z8)**2) ! The separation. 分離
Z9 = FILE 1 ! Load it into variable Z9, and tell MC 將其加載到變量Z9中，然后告訴MC
MC IZ9 "RedCen-BlueCen" ! to gather the statistics and plot Z9 with this label. 收集統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)并用此標(biāo)簽繪制Z9。
MC! Next case, please. 下一個(gè)例子
現(xiàn)在，當(dāng)我們運(yùn)行MACro時(shí)，MC將橫向色差的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)添加到第二個(gè)繪圖頁(yè)面，該頁(yè)面還顯示調(diào)整統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。
這是一個(gè)高級(jí)的課程，它展示了SYNOPSYS™中的一些不尋常的功能。
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