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集成光電子學是當今光電子學領域的發(fā)展前沿之一，隨著光電子器件的發(fā)展與廣泛應用，光電子集成也隨即發(fā)展起來。而光電子集成也是光子學發(fā)展的必由之路和高級階段。本論文將主要介紹光電集成器件、光電集成材料以及光電集成技術的發(fā)展現(xiàn)狀及其前景。 |"Zf0G
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關鍵詞：光電子器件、光電子集成（OEIC）技術、OEIC光發(fā)射機器件、OEIC光接收機器件、光中繼器件、GaAs光電子集成技術、InP光電子集成技術、硅基光電子集成技術。 {*8 G<&
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一、引言 j$6Q]5KdoS
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集成光電子學是當今光電子學領域的發(fā)展前沿之一，它主要研究集成在一個平面上的光電子學器件和光電子系統(tǒng)的理論、技術與應用，是光子學發(fā)展的必由之路和高級階段。集成光電子學以半導體激光器等光電子元件為核心集成起來，并以具有一定功能的體系為標志。目前，主要是研究和開發(fā)光通信、光傳感、光學信息處理和光子計算機所需的多功能、穩(wěn)定、可靠的光集成體系和光電子集成體系(OEIC: optical-electronic integrated circuit)；光學器件與電子器件集成在一起，則構成復合光電子集成體系。光電子集成（OEIC）技術和光子集成技術是光電子技術的基礎，自從20世紀光電子集成的概念被提出以后，光電子集成技術的發(fā)展已經(jīng)取得了一系列重大的突破。隨著光電子集成器件的發(fā)展，其制造工藝不斷向著簡約化、標準化、系列化和自動化發(fā)展。集成光電子學的理論基礎是光學和光電子學，涉及波動光學與信息光學、非線性光學和、半導體光電子學、晶體光學、薄膜光學、導波光學、耦合模與參量作用理論、薄膜光波導器件和體系等多方面的現(xiàn)代光學和光電子學內容；其工藝基礎則主要是薄膜技術和微電子工藝技術。集成光電子學的應用領域非常廣泛，除了光纖通信、光纖傳感技術、光學信息處理、光計算機與光存儲等之外，還在向其他領域，如材料科學研究、光學儀器、光譜研究等方面滲透。 ,S(Z\[x0
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