[分享]光學(xué)斷層掃描干涉法 [復(fù)制鏈接]

摘要 v*vn<nPAQ>  
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掃描干涉法是實(shí)現(xiàn)表面高度測量的技術(shù)。通過利用白色光源的低相干性，只有當(dāng)光程差在相干長度內(nèi)，干涉圖案才會出現(xiàn)。因此，它使精確微觀測量成為可能。使用一個(gè)氙燈搭建了一個(gè)邁克耳孫干涉儀，用于測量具有平滑變化前表面的樣品。 DQMPAj.  
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圖片:1-1P530102541352.png

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圖片:1-1P5301026135B.png

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結(jié)果