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[求助]關(guān)于磁控濺射薄膜表面的平整度？ [復(fù)制鏈接]

只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2006-12-11

一般的磁控濺射儀器對(duì)薄膜的表面能達(dá)到什么量級(jí)的平整度？

如果在兩次相同的條件下，表面的平整度差別比較大可能是什么原因引起的呢？


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