1 引言
bl_WN|SQ IviQ)h p 超精密加工機(jī)床的研制開(kāi)發(fā)始于20世紀(jì)60年代。當(dāng)時(shí)在美國(guó)因開(kāi)發(fā)激光核聚變實(shí)驗(yàn)裝置和紅外線(xiàn)實(shí)驗(yàn)裝置需要大型金屬反射鏡，因而急需開(kāi)發(fā)制作反射鏡的超精密加工技術(shù)。以單點(diǎn)金剛石車(chē)刀鏡面切削鋁合金和無(wú)氧銅的超精密加工機(jī)床應(yīng)運(yùn)而生。1980年美國(guó)在世界上首次開(kāi)發(fā)了三坐標(biāo)控制的M-18AG非球面加工機(jī)床，它標(biāo)志著亞微米級(jí)超精密加工機(jī)床技術(shù)的成熟。日本的超精密加工機(jī)床的研制開(kāi)發(fā)滯后于美國(guó)20年。從1981～1982年首先開(kāi)發(fā)的是多棱體反射鏡加工機(jī)床，隨后是磁頭微細(xì)加工機(jī)床、磁盤(pán)端面車(chē)床，近來(lái)則是以非球面加工機(jī)床和短波長(zhǎng)X線(xiàn)反射鏡面加工機(jī)床為主。德國(guó)、荷蘭以及中國(guó)臺(tái)灣的超精密加工機(jī)床技術(shù)也都處于世界先進(jìn)水平。我國(guó)的超精密加工機(jī)床的研制開(kāi)發(fā)工作雖起步比較晚，但經(jīng)過(guò)廣大精密工程研究人員的不懈努力，已取得了可喜的成績(jī)。哈爾濱工業(yè)大學(xué)精密工程研究所研制開(kāi)發(fā)的HCM-Ⅰ超精密加工機(jī)床，主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到了國(guó)際水平。國(guó)外部分超精密加工機(jī)床和HCM-Ⅰ超精密加工機(jī)床的性能指標(biāo)如表1所示。本文主要論述超精密加工機(jī)床的關(guān)鍵部件技術(shù)。
表1 國(guó)內(nèi)外典型超精密車(chē)床性能指標(biāo)匯總
