[轉(zhuǎn)載]超精密加工機(jī)床的關(guān)鍵部件技術(shù) [復(fù)制鏈接]

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超精密加工機(jī)床的研制開發(fā)始于20世紀(jì)60年代。當(dāng)時在美國因開發(fā)激光核聚變實驗裝置和紅外線實驗裝置需要大型金屬反射鏡，因而急需開發(fā)制作反射鏡的超精密加工技術(shù)。以單點金剛石車刀鏡面切削鋁合金和無氧銅的超精密加工機(jī)床應(yīng)運而生。1980年美國在世界上首次開發(fā)了三坐標(biāo)控制的M-18AG非球面加工機(jī)床，它標(biāo)志著亞微米級超精密加工機(jī)床技術(shù)的成熟。日本的超精密加工機(jī)床的研制開發(fā)滯后于美國20年。從1981～1982年首先開發(fā)的是多棱體反射鏡加工機(jī)床，隨后是磁頭微細(xì)加工機(jī)床、磁盤端面車床，近來則是以非球面加工機(jī)床和短波長X線反射鏡面加工機(jī)床為主。德國、荷蘭以及中國臺灣的超精密加工機(jī)床技術(shù)也都處于世界先進(jìn)水平。我國的超精密加工機(jī)床的研制開發(fā)工作雖起步比較晚，但經(jīng)過廣大精密工程研究人員的不懈努力，已取得了可喜的成績。哈爾濱工業(yè)大學(xué)精密工程研究所研制開發(fā)的HCM-Ⅰ超精密加工機(jī)床，主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到了國際水平。國外部分超精密加工機(jī)床和HCM-Ⅰ超精密加工機(jī)床的性能指標(biāo)如表1所示。本文主要論述超精密加工機(jī)床的關(guān)鍵部件技術(shù)。

表1 國內(nèi)外典型超精密車床性能指標(biāo)匯總 Z37%jdr  

型號(生產(chǎn)廠家)

HCM-Ⅰ k@Q>(`   (中國哈工大)

M-18AG QqdVN3#1z   (莫爾特殊機(jī)床,美國)

Ultraprecision CNC machine g.:b\JE