隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，人們對(duì)光學(xué)元件的表面粗糙度和表面面形精度提出了越來(lái)越高的要求，光學(xué)元件表面缺陷檢測(cè)技術(shù)也受到了廣泛重視。通過(guò)簡(jiǎn)述表面缺陷的類型，強(qiáng)調(diào)了缺陷給光學(xué)系統(tǒng)帶來(lái)的危害，由此分析和討論了目前國(guó)內(nèi)外對(duì)光學(xué)元件疵病的檢測(cè)方法，并指出各種方法的優(yōu)缺點(diǎn)，同時(shí)對(duì)機(jī)器視覺技術(shù)在疵病檢測(cè)方面的應(yīng)用進(jìn)行了介紹，還探討了光學(xué)元件表面缺陷檢測(cè)技術(shù)未來(lái)發(fā)展需要注意解決的問(wèn)題。
