摘要：為了加快產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和保證產(chǎn)品制造質(zhì)量需要對(duì)物體的
三維形貌進(jìn)行精確的
測(cè)量。
光學(xué)形貌測(cè)量技術(shù)由于其高
分辨率、無(wú)破壞、數(shù)據(jù)獲取速度快等優(yōu)點(diǎn)而被認(rèn)為是最有前途的三維形貌測(cè)量方法。介紹了各種基于
光學(xué)原理的三維形貌測(cè)量技術(shù), 并作了比較深入的分析和對(duì)比, 為正確和廣泛應(yīng)用三維形貌測(cè)量技術(shù)提供了參考。給出了在該領(lǐng)域的發(fā)展方向和研究熱點(diǎn)。
