微機械技術在工業(yè)、農(nóng)業(yè)、醫(yī)療、軍事等領域的應用日益廣泛。目前，微機械的加工方法有：由硅平面技術衍生的微蝕刻加工，由特種加工衍生的微細特種加工，由切削加工衍生的微細切削加工。
g<f <Ip= QoIT*! 微型機電系統(tǒng)技術衍生于微電子技術，由于這種歷史原因，硅微細加工在微機械制造中占據(jù)主要地位，硅微細加工具有批量制作、預組裝及容易與微電子電路集成的技術特點，適合于微型傳感器的制作，但成型結構形狀有限，不利于微致動器的制作。
7gvnl~C( Et/\xL 可以進行微細加工的特種加工方法主要有電火花加工、電化學加工、超聲加工、激光加工、離子束加工、電子束加工等。這些特種加工方法有的設備昂貴、對環(huán)境要求較高，有的加工速度偏低。對于加工三維實體結構的零件來說，單獨使用特種加工方法并沒有優(yōu)勢可言。
ERE)A-8 vZ&T}H~8 可以用來進行微細加工的切削方法有：微細車削、微細銑削、微細鉆削、微細磨削、微沖壓等。
kJzoFFWo$ T;y>>_, 本文將介紹微機械制造中的切削加工方法及設備的研究進展情況。
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