微機械技術(shù)在工業(yè)、農(nóng)業(yè)、醫(yī)療、軍事等領(lǐng)域的應用日益廣泛。目前,微機械的加工方法有:由硅平面技術(shù)衍生的微蝕刻加工,由特種加工衍生的微細特種加工,由切削加工衍生的微細切削加工。
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; 微型機電系統(tǒng)技術(shù)衍生于微電子技術(shù),由于這種歷史原因,硅微細加工在微機械制造中占據(jù)主要地位,硅微細加工具有批量制作、預組裝及容易與微電子電路集成的技術(shù)特點,適合于微型傳感器的制作,但成型結(jié)構(gòu)形狀有限,不利于微致動器的制作。