什么是三坐標(biāo)光柵測量系統(tǒng)?
三坐標(biāo)光柵測量系統(tǒng)用透明雨不透明間隔相等的線紋制成,原理是全反射或漫反射,對應(yīng)光柵測量系統(tǒng)。
三坐標(biāo)光柵測量系統(tǒng)用透明雨不透明間隔相等的線紋制成,原理是全反射或漫反射,對應(yīng)光柵測量系統(tǒng)。 一、光柵測量系統(tǒng)的檢測原理 光柵上刻有等間隔排列又能透過光線的細(xì)小的狹縫,如果把這樣兩個光柵一個固定在三坐標(biāo)測量機上(標(biāo)尺光柵),一個可以隨工作臺運動(稱為指示光柵),并使兩者相互錯開一個角度θ疊合在一起,在“標(biāo)尺光柵”與“指示光柵”的細(xì)小狹縫相交區(qū)域,透射光可以全部通過,便形成“亮區(qū)”;而在非相交部分,由于透射光被遮擋而形成“暗區(qū)”。這樣,在光柵的垂直方向上就可以形成明暗相間的條紋,這種條紋被人們稱為“莫爾條紋”。 光柵副(標(biāo)尺光柵與指示光柵)沒相對移動一個柵距,莫爾條紋移動一個節(jié)距。莫爾條紋是由數(shù)百條光柵刻線共同形成的,因此它對光柵的刻線誤差有平均作用,提高了位移檢測精度。 光柵測量系統(tǒng)在三坐標(biāo)測量機中是應(yīng)用最廣的一種測量系統(tǒng)。這是因為它有許多優(yōu)點,如光柵尺體積小,制造容易,安裝比較方便,測量精度較高,所得到的光電信號容易細(xì)分。但在三坐標(biāo)保養(yǎng)維護時光柵尺怕油污和灰塵,一定要注意光柵尺的保養(yǎng)時要注意車間要無塵,不要用手隨意摸光柵尺。 二、三坐標(biāo)光柵測量系統(tǒng)種類 1.三坐標(biāo)光柵測量系統(tǒng)的種類,在玻璃的表面上制作透明與不透明間隔相等的線紋,可制成透射光柵; 2.在金屬的鏡面上制成全反射或漫反射并間隔相等的線紋,稱作反射光柵; 3.也可以把線紋做成具有一定衍射角度的光柵。 |
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