CODE V中的公差分析

TOR有兩種工作方式：1）反靈敏度模式Inverse Mode：為缺省模式，它計算公差值，每一個公差對系統(tǒng)造成的影響大致相當，公差范圍不會違背用戶定義的公差極限，在此種模式進行中，每個公差值不能被改變。2）靈敏度模式Sensitivity Mode：計算特定公差對系統(tǒng)的影響。 

3.TOR的工作過程

下面用一個簡單的例子（F/5，焦距100，一片，如圖1）說明一下TOR到底對系統(tǒng)產生了何種影響。設計結果為光學零件第一面半徑為50mm，厚度為5mm，RMS波像差為0.4377waves, 

 圖1.例子光路圖

我們將改變第一面半徑和厚度來觀察RMS波像差的變化，我們計算允許RMS波像差增加0.01waves時所需的公差。（在這里我們用命令的形式來進行以簡化過程）

第一步，我們指定第一面半徑和厚度的公差，DLR S1；DLT S1，注意在這里可以輸入你指定的公差值，否則為公差的缺省值； 第二步，計算公差，TOR；ROU N；INV 0.01；GO，這里沒有選擇公差控制的Rounding按扭的原因為更好地理解TOR的含義，在實際運用中，應選擇此項，以模擬實際多次加工的循環(huán)過程。輸出結果如圖2：

 

圖2.公差分析第一次結果

由結果可以看出：半徑公差為公差范圍的極小值的原因為當半徑改變0.02時，RMS波像差改變量已經超過0.01waves，而TOR不改變系統(tǒng)的公差極限，當然公差極限可以由我們用戶來設置或改變，計算結果還表明我們將厚度改變?yōu)?.040806mm時，RMS波像差將增加0.01waves。

現(xiàn)在我們將后截距的變化（Defucus）作為系統(tǒng)的調整量，調整量為0.5mm再一次進行公差分析，CMP DLZ SI；TOR；INV 0.01；ROU N；GO，輸出結果如圖3：

 

圖3 Defocus為0.5mm時的結果