光學(xué)車間檢測(cè)（原書第3版）

《光學(xué)車間檢測(cè)(原書第3版)》原著是光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域的權(quán)威著作之一，從第1版到第3版的再版歷時(shí)三十年時(shí)間，第一版都深受光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域讀者的歡迎�！豆鈱W(xué)車間檢測(cè)(原書第3版)》（原書第3版）詳細(xì)介紹了光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域的各種儀器、方法和技術(shù)手段，以及三十年來(lái)光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域的最新重要進(jìn)展。

《光學(xué)車間檢測(cè)(原書第3版)》共分18章，主要內(nèi)容包括：牛頓干涉儀，菲佐干涉儀，海丁格干涉儀，泰曼-格林干涉儀，共光路干涉儀，橫向剪切干涉儀，徑向、旋轉(zhuǎn)和反轉(zhuǎn)剪切干涉儀，多光束干涉儀和多通道干涉儀的技術(shù)原理和使用方法；介紹了傅科J1口法、細(xì)絲法和調(diào)相法，朗奇檢驗(yàn)法，哈特曼光闌檢驗(yàn)、哈特曼-夏克光闌檢驗(yàn)及其他光闌檢驗(yàn)，星點(diǎn)檢驗(yàn)法，非球面波前和鏡面的檢驗(yàn)，澤尼克多項(xiàng)式與波前擬合，相移干涉測(cè)量，表面輪廓儀，多波長(zhǎng)及白光干涉測(cè)量，散射表面光學(xué)檢測(cè)，角度、棱鏡、曲率半徑和焦距的測(cè)量，光學(xué)面及其特性的數(shù)學(xué)描述等光學(xué)檢測(cè)的主要技術(shù)手段和分析方法。

《光學(xué)車間檢測(cè)(原書第3版)》可供從事光學(xué)檢驗(yàn)、檢測(cè)、測(cè)試、計(jì)量與研究、設(shè)計(jì)與制造工作的廣大科技人員參考，也可作為教材供相關(guān)專業(yè)學(xué)生及教師使用。

目錄

譯叢序言

第3版譯者的話

第3版序

第1章 牛頓干涉儀、菲佐干涉儀和海丁格干涉儀

1.1 引言

1.2 牛頓干涉儀

1.2.1 光源尺寸的考慮

1.2.2 幾種合適的光源

1.2.3 制作平面樣板的材料

1.2.4 估計(jì)最大誤差的簡(jiǎn)單方法

1.2.5 球面的測(cè)量

1.2.6 非球面的測(cè)量

1.2.7 不透明表面平面度測(cè)量

1.3 菲佐干涉儀

1.3.1 基本的菲佐干涉儀

1.3.2 光源相干性要求

1.3.3 準(zhǔn)直透鏡質(zhì)量要求

1.3.4 液體基準(zhǔn)面

1.3.5 激光作為光源的菲佐干涉儀

1.3.6 多光束菲佐干涉儀

1.3.7 近似平行板的測(cè)量

1.3.8 檢測(cè)大口玻璃和熔融石英試樣的不均勻性

1.3.9 測(cè)量桿、塊和平板面的平行度和平面度

1.3.10 三面直角棱鏡和直角棱鏡的測(cè)量

1.3.11 菲佐干涉儀檢測(cè)曲面

1.3.12 檢測(cè)凹面和凸面

1.4 海丁格干涉儀

1.4.1 海丁格干涉儀的應(yīng)用

1.4.2 用激光作為海丁格干涉儀光源

1.4.3 海丁格干涉儀的其他應(yīng)用

1.5 平面的絕對(duì)測(cè)量

參考文獻(xiàn)

第2章 泰曼-格林干涉儀

2.1 引言

2.2 分光鏡

2.2.1 分光鏡平板導(dǎo)致的光程差

2.2.2 平板分光鏡的精度要求

2.2.3 偏振分光棱鏡

2.2.4 非偏振分光棱鏡

2.3 相干性要求

2.3.1 空間相干性

2.3.2 時(shí)間相干性

2.4 泰曼．格林干涉儀的應(yīng)用

2.4.1 棱鏡和衍射光柵的檢測(cè)

2.4.2 透鏡的檢測(cè)

2.4.3 顯微物鏡的檢測(cè)

2.5 干涉儀內(nèi)部畸變的補(bǔ)償

2.6 非等程干涉儀

2.6.1 幾種特殊設(shè)計(jì)

2.6.2 提高條紋穩(wěn)定性

2.7 開放光路干涉儀

2.7.1 馬赫·澤德干涉儀

2.7.2 傾斜入射干涉儀

2.8 泰曼·格林光路結(jié)構(gòu)的變形

2.8.1 多幅成像干涉儀

2.8.2 使用衍射分光鏡的干涉儀

2.8.3 相位共軛干涉儀

2.9 泰曼格林干涉圖及其分析

參考文獻(xiàn)

第3章 共光路干涉儀

3.1 引言

3.2 使用兩塊匹配散射板的伯奇干涉儀

3.2.1 菲涅耳波帶片干涉儀

3.2.2 伯奇和菲涅耳波帶片干涉儀檢測(cè)非球面

3.2.3 伯奇和菲涅耳波帶片干涉儀測(cè)量相移

3.3 雙折射分光鏡

3.3.1 薩瓦偏光鏡

3.3.2 渥拉斯頓棱鏡

3.3.3 雙焦系統(tǒng)

3.4 橫向剪切干涉儀

3.4.1 薩瓦偏光鏡的使用

3.4.2 渥拉斯頓棱鏡的使用

3.5 雙焦干涉儀

3.6 桑德斯棱鏡干涉儀

3.7 點(diǎn)衍射干涉儀

3.8 采用共光路干涉儀的澤尼克檢測(cè)

參考文獻(xiàn)

第4章 橫向剪切干涉儀

4.1 引言

4.2 光源的相干性

4.3 橫向剪切干涉計(jì)量的理論簡(jiǎn)介

4.3.1 球面和平面波前的干涉圖樣

4.3.2 橫向剪切干涉中初級(jí)像差的干涉圖樣

4.4 未知波前的估計(jì)

4.5 平行光橫向剪切干涉儀（白光補(bǔ)償）

4.5.1 基于雅明(Jamin)干涉儀的橫向剪切干涉裝置

4.5.2 基于邁克耳遜干涉儀的橫向剪切干涉裝置

4.5.3 基于循環(huán)式干涉儀的橫向剪切裝置

4.5.4 基于馬赫．澤德干涉儀的橫向剪切裝置

4.6 會(huì)聚光橫向剪切干涉儀（白光補(bǔ)償）

4.6.1 基于邁克耳遜干涉儀的橫向剪切裝置

4.6.2 基于馬赫·澤德干涉儀的橫向剪切裝置

4.7 使用激光的橫向剪切干涉儀

4.8 其他類型的橫向剪切干涉儀

4.8.1 基于衍射原理的橫向剪切干涉儀

4.8.2 基于偏振原理的橫向剪切干涉儀

4.9 矢量剪切干涉儀

4.9.1 剪切干涉計(jì)量

4.9.2 定向剪切干涉儀

4.9.3 模擬干涉圖樣

4.9.4 實(shí)驗(yàn)結(jié)果

4.9.5 矢量剪切干涉儀和其他干涉儀的相似點(diǎn)和差別

參考文獻(xiàn)

第5章 徑向、旋轉(zhuǎn)和反轉(zhuǎn)剪切干涉儀

5.1 引言

5.2 徑向剪切干涉儀

5.2.1 徑向剪切干涉圖樣的波前評(píng)估

5.2.2 單光程徑向剪切干涉儀

5.2.3 雙光程徑向剪切干涉儀

5.2.4 激光徑向剪切干涉儀

5.2.5 厚透鏡徑向剪切干涉儀

5.3 旋轉(zhuǎn)剪切干涉儀

5.3.1 光源大小未補(bǔ)償?shù)男�轉(zhuǎn)剪切干涉儀

5.3.2 光源補(bǔ)償?shù)男�轉(zhuǎn)剪切干涉儀

5.4 反轉(zhuǎn)剪切干涉儀

參考文獻(xiàn)

第6章 多光束干涉儀

6.1 發(fā)展簡(jiǎn)史

6.2 多光束干涉計(jì)量技術(shù)的精度

6.3 多光束菲佐干涉儀

6.3.1 干涉條紋的形成

6.3.2 菲佐干涉測(cè)量法

6.4 等色序條紋

6.5 多光束干涉測(cè)量中如何減少干涉條紋的間隔

6.6 平行平面法布里珀羅 干涉儀

6.6.1 薄膜厚度的測(cè)量

6.6.2 表面平面度偏差

6.7 用法布里-珀羅 干涉儀產(chǎn)生的托蘭斯基干涉條紋

6.8 檢驗(yàn)曲面用的多光束干涉儀

6.9 耦合干涉儀和串聯(lián)干涉儀

6.9.1 耦合干涉儀

6.9.2 串聯(lián)干涉儀

6.1 0 全息多光束干涉儀

6.1 1 法布里-珀羅 干涉條紋近代的發(fā)展

第7章 多通道干涉儀

第8章 傅科刀口法、細(xì)絲法及調(diào)相法

第9章 朗奇(Ronchi)檢驗(yàn)法

第10章 哈特曼光闌檢驗(yàn)、哈特曼·夏克光闌檢驗(yàn)及其他光闌檢驗(yàn)

第11章 星點(diǎn)檢驗(yàn)法

第12章 非球面波前和鏡面的檢驗(yàn)

第13章 澤尼克多項(xiàng)式與波前擬合

第14章 相移干涉測(cè)量

第15章 表面輪廓儀、多波長(zhǎng)及白光干涉測(cè)量

第16章 散射表面光學(xué)檢測(cè)

第17章 角度、棱鏡、曲率半徑和焦距的測(cè)量

第18章 光學(xué)面及其特性的數(shù)學(xué)描述